Esta versión de la guía docente es provisional hasta que no finalize el periodo de edición de las guías del nuevo curso.

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Nanofabricación

Código: 106835 Créditos ECTS: 6
2025/2026
Titulación Tipo Curso
Nanociencia y Nanotecnología OB 3

Contacto

Nombre:
Francisco Torres Canals
Correo electrónico:
francesc.torres@uab.cat

Equipo docente

Cristian Rodriguez Tinoco
Alberto Quintana Puebla
Xavier Borrise Nogue
Aitor Lopeandia Fernandez

Idiomas de los grupos

Puede consultar esta información al final del documento.


Prerrequisitos

Es recomendable haber aprobado las asignaturas de los tres cursos anteriores, especialmente las relacionadas con las áreas de física, ingeniería y electrónica.


Objetivos y contextualización

El objetivo del módulo es dar a conocer las técnicas y métodos de fabricación que existen a escala micro y nanométrica, de manera que el alumno queda capacitado para definir una secuencia adecuada de procesos para la realización de cualquier tipo de dispositivo o estructura funcional. El contenido está focalizado en la fabricación de estructuras y dispositivos funcionales, y no en la obtención o la preparación de materiales. Se verán ejemplos prácticos y variados de fabricación de estructuras y dispositivos nanométricos (estructuras nanomecánicas, dispositivos basados en grafeno, nanosensores, dispositivos fotónicos, micro / nano fluídica, etc) Se llevará a cabo también una introducción a la operación y realización de procesos en Sala Blanca.


Resultados de aprendizaje

  1. CM25 (Competencia) Proponer métodos de síntesis, fabricación y caracterización óptimos en función de la propiedades y funcionalidades deseadas de los nanosistemas.
  2. CM26 (Competencia) Diseñar nanosistemas que cumplan los requisitos asociados a aplicaciones innovadoras específicas.
  3. CM27 (Competencia) Trabajar en equipo en el desarrollo de casos prácticos del ámbito de la nanotecnología, valorando el impacto social, económico y medioambiental.
  4. KM47 (Conocimiento) Describir los principales procesos de fabricación y procesado industrial de dispositivos en la micro y la nanoescala.
  5. SM39 (Habilidad) Realizar procesos de micro y nanofabricación para la obtención de dispositivos y sistemas en la nanoescala.
  6. SM40 (Habilidad) Utilizar herramientas digitales y fuentes documentales para obtener, analizar y presentar información de manera crítica en el ámbito de la nanotecnología.

Contenido

La asignatura se divide en cuatro grandes bloques:

Módulo 1. Tecnología planar

Se describen individualmente los principales procesos de la tecnología planar y se presentan los aspectos generales de la tecnología micro / nano electrónica, así como su evolución (miniaturización)

Introducción a la tecnología planar: concepto, obleas, secuencia de procesos, etc
Procesos tecnológicos individuales: deposición (PVD y CVD), grabados (secos y húmedos), procesos térmicos, implantación, litografía.
Integración de procesos, tecnología CMOS.
Evolución y límites de la tecnología micro / nano electrónica

Módulo 2. nanolitografía y "nanopatterning"

Se describen las técnicas de litografía y nanoestructuración para la definición de nanoestructuras y nanodispositivos en superficies. Se presentan ejemplos del estado del arte actual.

Litografía óptica avanzada
Litografia por haz de electrones
Litografía por haz de iones
Litografía por nanoimpresión
Nanofabricación mediante SPMs
Otras nanolitografías

Módulo 3 Nanofabricación "bottom-up"

Se describen métodos de realización de nanoestructuras y dispositivos basados en una aproximación "bottom-up", basados en el ensamblaje de elementos individuales nanométricos para construir estructuras y dispositivos funcionales.

Auto-ensamblaje y auto-ensamblaje guiado.
Estructuras y dispositivos basados en nanohilos y nanotubos
Estructuras y dispositivos basados en nanopartículas
Otros métodos de fabricación químicos y electroquímicos

Módulo 4 Trabajo práctico de nanofabricación

Se introducen al alumno los principios de operación de una Sala Blanca y se introduce la metodología de diseño de máscaras y micro-chips.

  •      Diseño de una máscara con un programa de edición dedicado (dos sesiones).
  •      Proceso completo de litografia usando la máscara diseñada (una sesión).
  •      Depósito y grabado de capas finas. Caracterización de las capas por AFM (una sesión).    
  •      Observación con microscopio electrónico de estructuras bottom-up (una sesión).
  •      Visita guiada a la sala blanca delCentro Nacional de Microeletrónica (una sesión).

Actividades formativas y Metodología

Título Horas ECTS Resultados de aprendizaje
Tipo: Dirigidas      
Clases de teoria 24 0,96
Prácticas de laboratorio 14 0,56
Problemas 6 0,24
Seminarios (Laboratorio) 8 0,32
Tipo: Autónomas      
Lectura de los apuntes de clase 30 1,2
Lectura de los guines de prácticas de laboratorio 20 0,8
Realización de ejercicios y tests 32 1,28

La docencia se realizará mediante 24 horas lectivas de teoría, 6 horas de problemas y 22 horas de prácticas de laboratorio (8 horas de seminarios dedicados a laboratorio).

Prácticas: Las clases prácticas y sus correspondientes informes se realizarán en grupos de un máximo de dos personas. No se aceptarán grupos formados por más de dos personas. La entrega de los informes, vía campus virtual, estará regido por una fecha de entrega que se comunicará después de haber realizado la práctica.

Ejercicios extra: Durante el curso se podrán entregar a los alumnos ejercicios extras que deberán hacerse fuera de las horas lectivas y que serán evaluables.

Nota: se reservarán 15 minutos de una clase dentro del calendario establecido por el centro o por la titulación para que el alumnado rellene las encuestas de evaluación de la actuación del profesorado y de evaluación de la asignatura o módulo.


Evaluación

Actividades de evaluación continuada

Título Peso Horas ECTS Resultados de aprendizaje
Exámenes parciales 65% 6 0,24 CM25, CM26
informes de prácticas 30% 10 0,4 CM27, KM47, SM39, SM40

La asignatura consta de las siguientes actividades de evaluación:

Dos exámenes escritos parciales (teoría y problemas), uno en la mitad de la asignatura y el otro al final, con un peso sobre la calificación final de un 70% (35% cada uno). La asistencia a estos exámenes parciales es obligatoria para poder presentarse al examen de recuperación.

Informes correspondientes a las prácticas de laboratorio con un peso sobre la calificación final de un 30%. Esta nota se tendrá en cuenta para la evaluación final de la asignatura siempre y cuando el alumno supere la nota de 4.5 como nota media de los dos parciales o como nota del examen de recuperación.

NOTA: La asistencia a las sesiones de prácticas, su realización y la entrega del informe correspondiente son condición indispensable para aprobar la asignatura.

Examen escrito (teoría y problemas), para la recuperación: La asistencia al examen escrito de recuperación será recomendable en el caso de haber obtenido una nota inferior a 5 en alguno de los dos exámenes parciales. Tendrá un peso del 70% de la nota final. Se evaluaran por separado los contenidos referentes al primer parcial y al segundo parcial. Esto permite presentarse a la recuperación de uno de los parciales solamente o al total de la asignatura. La nota final de los exámenes escritos será la media entre las dos partes de la asignatura, escogiéndose para cada parte la mejor nota entre el examen parcial y el examen de recuperación.

Evaluación única:

El alumnado que se haya acogido a la modalidad de evaluaciónúnica deberá realizar una única prueba final que consistirá en un examen con una parte de teoría y una parte de problemas donde deberá resolver una serie de ejercicios similares a los que se han trabajado en las sesiones de Prácticas de Aula. El mismo día en que realice la prueba escrita deberá entregar los informes de todas las prácticas. Este examen y la entrega de todos los informes de prácticas se realizará el día del examen del segundo parcial fijado para los alumnos de evaluación continuada por la coordinación de la titulación. El examen escrito (teoría y problemas) se entregará en papel y las prácticas en formato PDF vía campus virtual.
La calificación final del estudiante será la siguiente: el examen escrito (teoría y problemas) tendráun peso de un 70% de la nota final y los informes de prácticas un total de un 30%. La nota de los informes de prácticas se tendrá en cuenta para la nota final sólo si el alumno ha superado la nota de 4.5 en el examen escrito (teoría y problemas) o en el examen de recuperación.
Si la nota final no alcanza el 5, el estudiante tiene otra oportunidad de superar la asignatura mediante el examen de recuperación que se celebrará en la fecha que fije la coordinación de la titulación. En esta prueba se podrá recuperar el 70% de la nota correspondiente a la teoría y problemas. La parte de prácticas no es recuperable.

 


Bibliografía

Introduction to Microfabrication / Sami Franssila. ISBN 978-0-470-74983-8, John Wiley & Sons, 2010.

Nuevas Tecnologías en los Dispositivos Electrónicos / A. Godoy et. al: Departamento de Electrónica y Tecnología de Computadores, Universidad de Granada, ISBN: 978-84-691-4090-1, 2008.

Nanofabrication, Nanolithography techniques and their applications / José María de Teresa et al. / Online ISBN: 978-0-7503-2608-7 • Print ISBN: 978-0-7503-2606-3, 2020.

Nanofabrication, Techniques and Principles / Maria Stepanova & Steven Dew / ISBN 978-3-7091-0423-1, Springer, 2012.

Optical Lithography, Here is Why / Burn J. Lin / ISBN 978-0-8194-7560-2 Spie Press, 2010.

Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou; Boca Raton, FL Taylor & Francis, 2011.


Articulos publicados en revistas de investigación. Los professores proporcionarán la información adecuada.


Software

El programario funciona bajo Windows

Programario Glade i KLayout (diseño de máscaras de litografía, de acceso abierto)

Gwyddion (análisis de imágenes, de acceso abierto) 


Grupos e idiomas de la asignatura

La información proporcionada es provisional hasta el 30 de noviembre de 2025. A partir de esta fecha, podrá consultar el idioma de cada grupo a través de este enlace. Para acceder a la información, será necesario introducir el CÓDIGO de la asignatura

Nombre Grupo Idioma Semestre Turno
(PAUL) Prácticas de aula 1 Catalán segundo cuatrimestre tarde
(PLAB) Prácticas de laboratorio 1 Catalán segundo cuatrimestre manaña-mixto
(PLAB) Prácticas de laboratorio 2 Catalán segundo cuatrimestre manaña-mixto
(PLAB) Prácticas de laboratorio 3 Catalán segundo cuatrimestre manaña-mixto
(SEM) Seminarios 1 Catalán/Español segundo cuatrimestre manaña-mixto
(SEM) Seminarios 2 Catalán/Español segundo cuatrimestre manaña-mixto
(SEM) Seminarios 3 Catalán/Español segundo cuatrimestre manaña-mixto
(SEM) Seminarios 4 Catalán/Español segundo cuatrimestre manaña-mixto
(SEM) Seminarios 5 Catalán/Español segundo cuatrimestre manaña-mixto
(SEM) Seminarios 6 Catalán/Español segundo cuatrimestre manaña-mixto
(SEM) Seminarios 7 Catalán/Español segundo cuatrimestre manaña-mixto
(SEM) Seminarios 8 Catalán/Español segundo cuatrimestre manaña-mixto
(SEM) Seminarios 9 Catalán/Español segundo cuatrimestre manaña-mixto
(SEM) Seminarios 10 Catalán/Español segundo cuatrimestre manaña-mixto
(TE) Teoría 1 Catalán segundo cuatrimestre tarde