Titulación | Tipo | Curso | Semestre |
---|---|---|---|
2501922 Nanociencia y Nanotecnología | OB | 4 | 1 |
Es recomendable haber aprobado las asignaturas de los tres cursos anteriores, especialmente las relacionadas con las áreas de física, ingeniería y electrónica.
El objetivo del módulo es dar a conocer las técnicas y métodos que existen de fabricación a escala micro y nanométrica, de manera que el alumno queda capacitado para definir una secuencia adecuada de procesos para la realización de cualquier tipo de dispositivo o estructura funcional. El contenido está focalizado en la fabricación de estructuras y dispositivos funcionales, y no a la obtención o la preparación de materiales. Se verán ejemplos prácticos y variados de fabricación de estructuras y dispositivos nanométricos (estructuras nanomecánicas, dispositivos basados en grafeno, nanosensores, dispositivos fotónicos, micro / nano fluídica, etc) Se llevará a cabo también una introducción a la operación y realización de procesos en Sala Blanca.
La asignatura se divide en cuatro grandes bloques:
Módulo 1. Tecnología planar (10 h.Teo, 5 h.Prob)
Se describen individualmente los principales procesos de la tecnología planar y se presentan los aspectos generales de la tecnología micro / nano electrónica, así como su evolución (miniaturización)
Introducción a la tecnología planar: concepto, obleas, secuencia de procesos, etc
Procesos tecnológicos individuales: deposición (PVD y CVD), grabados (secos y húmedos), procesos térmicos, implantación, litografía.
Integración de procesos, tecnología CMOS.
Evolución y límites de la tecnología micro / nano electrónica
Módulo 2. nanolitografía y "nanopatterning" (8h.T, 4 h.Prob)
Se describen las técnicas de litografía y nanoestructuración para la definición de nanoestructuras y nanodispositivos en superficies. Se presentan ejemplos del estado del arte actual.
Litografía óptica avanzada
Litrografia por haz de electrones
Litografía por haz de iones
Litografía por nanoimpresión
Nanofabricación mediante SPMs
Otras nanolitografías
Módulo 3 Nanofabricación "bottom-up" (6h.T)
Se describen métodos de realización de nanoestructuras y dispositivos basados en una aproximación "bottom-up", basados en el ensamblaje de elementos individuales nanométricos para construir estructuras y dispositivos funcionales.
Auto-ensamblaje y auto-ensamblaje guiado.
Estructuras y dispositivos basados en nanohilos y nanotubos
Estructuras y dispositivos basados en nanopartículas
Origami de ADN
Otros métodos de fabricación químicos y electroquímicos
Módulo 4 Trabajo práctico de nanofabricación
Se introducen al alumno los principios de operación de una Sala Blanca y se introduce la metodología de diseño de máscaras y micro-chips. Debido a las llimitaciones impuestas por la Covid-19 podría darse el caso que alguna sesión estríctamente presencial (por ejemplo, visita a la sala blanca del CNM) no se pudiera realizar.
Además, se han previsto 5 horas de seminarios con investigadores especialistas en nanofabricación sometidas a las restricciones impuestas por la Covid-19. El número de seminarios será de cómo máximo cinco, pero el número final dependerá de la evolución de la Covid-19.
Nota: se reservarán 15 minutos de una clase dentro del calendario establecido por el centro o por la titulación para que el alumnado rellene las encuestas de evaluación de la actuación del profesorado y de evaluación de la asignatura o módulo.
Título | Horas | ECTS | Resultados de aprendizaje |
---|---|---|---|
Tipo: Dirigidas | |||
Clases de teoria | 24 | 0,96 | 9, 10, 11, 12, 13, 14, 15 |
Problemas | 9 | 0,36 | 2, 16, 8, 19, 25, 27, 29, 32, 34, 35, 37 |
Prácticas de laboratorio | 15 | 0,6 | 2, 16, 4, 5, 6, 7, 8, 11, 12, 13, 14, 17, 30, 18, 19, 20, 21, 22, 23, 27, 28, 31, 33, 36, 37 |
Seminarios | 5 | 0,2 | 2, 3, 16, 7, 17, 30, 19, 20, 26, 29, 32 |
Tipo: Autónomas | |||
Lectura de los apuntes de clase | 30 | 1,2 | 3, 22, 24, 25 |
Lectura de los guines de prácticas de laboratorio | 9 | 0,36 | 3, 5, 17, 30, 18, 19, 24, 25, 29, 32, 33 |
Realización de ejercicios y tests | 32 | 1,28 | 3, 16, 7, 11, 12, 13, 14, 18, 25, 26, 32, 35 |
La asignatura consta de las siguientes actividades de evaluación:
Dos exámenes escritos parciales (teoría y problemas), uno en la mitad de la asignatura y el otro al final, con un peso sobre la calificación final de un 70% (35% cada uno). La asistencia a estos exámenes parciales es obligatoria para poder presentarse al examen de recuperación.
Informes correspondientes a las prácticas de laboratorio con un peso sobre la calificación final de un 25%. Esta nota se tendrá en cuenta para la evaluación final de la asignatura siempre y cuando el alumno supere la nota de 4.5 como nota media de los dos parciales o como nota del examen de recuperación.
NOTA: La asistencia a las sesiones de prácticas, su realización y la entrega del informe correspondiente son condición indispensable para aprobar la asignatura.
Ejercicios sobre clases teóricas y trabajos referentes a los seminarios: con un peso sobre la calificación final de un 5%
NOTA: La asistencia a los seminarios, los trabajos correspondientes a éstos que se pidan y la realización de los ejercicios sobre las clases teòricas son obligatorios para poder aprobar la asignatura.
Examen escrito (teoría y problemas), para la recuperación: La asistencia al examen escrito de recuperación será recomendable en el caso de haber sacado una nota inferior a 5 en alguno de los dos exámenes parciales. Se evaluará por separado los contenidos referentes al primer parcial y al segundo parcial. Esto permite presentarse a la recuperación de uno de los parciales solamente o altotal de la asignatura. La nota final de los exámenes escritos será la media entre las dos partes de la asignatura, escogiéndose para cada parte la mejor nota entre el examen parcial y el examen de recuperación.
Título | Peso | Horas | ECTS | Resultados de aprendizaje |
---|---|---|---|---|
Evaluación continuada, ejercicios, seminarios | 5% | 10 | 0,4 | 1, 2, 3, 16, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 15, 17, 30, 18, 20, 21, 22, 23, 24, 25, 26, 29, 31, 32, 33, 36, 37 |
Exámenes parciales | 70% | 6 | 0,24 | 7, 9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 19, 27, 28, 32, 35 |
Informes de laboratorio | 25% | 10 | 0,4 | 1, 3, 5, 6, 8, 15, 17, 30, 18, 20, 23, 24, 25, 26, 29, 32, 33, 34, 35, 37 |
Introduction to Microfabrication / Sami Franssila. ISBN 978-0-470-74983-8, John Wiley & Sons, 2010.
Nuevas Tecnologías en los Dispositivos Electrónicos / A. Godoy et. al: Departamento de Electrónica y Tecnología de Computadores, Universidad de Granada, ISBN: 978-84-691-4090-1, 2008.
Nanofabrication, Nanolithography techniques and their applications / José María de Teresa et al. / Online ISBN: 978-0-7503-2608-7 • Print ISBN: 978-0-7503-2606-3, 2020.
Nanofabrication, Techniques and Principles / Maria Stepanova & Steven Dew / ISBN 978-3-7091-0423-1, Springer, 2012.
Optical Lithography, Here is Why / Burn J. Lin / ISBN 978-0-8194-7560-2 Spie Press, 2010.
Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou; Boca Raton, FL Taylor & Francis, 2011.
Articulos publicados en revistas de investigación. Los professores proporcionarán la información adecuada.
El programario funciona bajo Windows
Programario Glade (diseño de máscaras de litografía i es de acceso abierto)